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두성공압기계
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설치사례


진공펌프 설치사례

두성공압기계 2025-11-28 조회수 58

30마력 진공펌프 설치사례를 소개합니다.



진공펌프는 반도체·배터리·식품·제약 등 청정도가 필요한 산업에서 가장 많이 사용되는 건식 진공펌프입니다.

스크류 진공 펌프는 높은 청정 환경과 내구성이 요구되는 분야에서 핵심적인 역할을 합니다.

  • 반도체 및 디스플레이 제조: 공정 중의 오염을 엄격하게 제한해야 하는 증착, 식각 공정 등.

  • 화학 및 제약 산업: 부식성 또는 독성 가스를 취급하는 증류, 건조, 용매 회수 공정.

  • 태양광 산업: 태양 전지 패널 제조 공정.

  • 진공 코팅 및 야금: 진공 용광로, 열처리, 표면 코팅 등.



로터 간 비접촉으로 마모가 거의 없고, 오일 교체가 불필요하여 유지보수 비용과 시간이 절약됩니다.

저진공에서부터 고진공($\sim 10^{-3}$ mbar)까지 광범위한 압력에서 효율적인 작동이 가능합니다.


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